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    四氟化碳

     产品名称:四氟化碳四氟甲烷CF4 其他名称:R14 分子式:CF4 UN NO.: UN1956 CAS NO.:75-73-0 产品纯度:99.999% 包装说明:49L DOT钢瓶,30kg/瓶,钢瓶尺寸23 × 140cm,316L SS材质阀门,阀门型号CGA320 CGA580 DISS712 四氟化碳产品规格和技术指标
    容器规格 容器尺寸 (cm) 平均重量 (kg) 阀门/螺纹出口  充装量
    49LDOT钢瓶 23×140 70 CGA320/Diss712 30kg
    440L Y罐 60×180 390 Diss712 320kg
    成分 高纯四氟化碳 单位
    四氟化碳 99.999% %V
    氧(氩) 1 ppmv
    氮气 4 ppmv
    六氟化硫 1 ppmv
    二氧化碳 1 ppmv
    一氧化碳 1 ppmv
    其他氟碳 1 ppmv
    酸度(HF计) 0.1 ppmv
    1 ppmv
    四氟化碳产品说明 产品说明: 四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。   注意事项: 不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。
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